对于很多材料在非真空炉内加热除了要生成氧化物、氢化物、氮化物外，非真空电炉中加热的材料还会吸收气体并向内部扩散，使材料的性能严重恶化。这些氧化、还原、脱碳、增碳、吸气甚至产生腐蚀等弊病，有时在可控气氛炉或者盐浴炉中也难以避免，而真空热处理炉可以在很多时候避免这些弊病。

    真空热处理实质上是在极稀薄的真空炉气氛中进行热处理，真空电炉内气体分析表明，真空炉内残存的气体是H2Q、O2、CO2以及油脂等有机物蒸汽。真空炉内由于这些气体的含量非常少，其分压力很低，不足以使被处理的材料产生氧化、还原、脱碳、增碳等反应，所以材料表面的化学成分和原来的表面光亮度可保持不变。

多用炉内高真空有两个特点：

    1、高真空气氛的化学活性极低，因此，利用真空电炉进行热处理炉时，气相与固相界面上发生的反应，如氧化、还原、脱碳、增碳等，不会进行到有影响的程度；

    2、多用炉内的高真空气氛使气体体积增大的变化非常迅速，可使材料放出溶解的气体或者氧化物发生分解。正是由于真空炉内高真空气氛的这两个特点，在真空电炉高真空气氛中，氧分压很低，氧化作用被抑制。因此，为了达到无氧化的目的，必须是真空炉内氧的分压力低于氧化物的分解压力。